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ceramicforum晶片內位錯檢測儀CS-1

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更新日期：2024-05-21

簡要描述：

ceramicforum晶片內位錯檢測儀CS-1
"Crystalline Tester CS1"是非破壞性、非接觸式檢測可見光（波長400～800nm）透明性晶體材料中由于殘留的缺陷、應力引起的晶格畸變后分布情況的便捷式檢測設備。

ceramicforum晶片內位錯檢測儀CS-1
品牌其他品牌類型無損傷
產地進口

ceramicforum晶片內位錯檢測儀CS-1

ceramicforum晶片內位錯檢測儀CS-1

"Crystalline Tester CS1"是非破壞性、非接觸式檢測可見光（波長400～800nm）透明性晶體材料中由于殘留的缺陷、應力引起的晶格畸變后分布情況的便捷式檢測設備。通過本設備可以實現快速、準確地把握目檢下無法看到的晶體晶格畸變的狀態。

ceramicforum晶片內位錯檢測儀CS-1

產品特征

產品特長

  1. 高速測量（6" 襯底　90秒）
    ?可以最快速度簡捷方式觀察殘留應力分布。

  2. 縱向結晶評價
    ?因為是透視型結晶評價裝置，所以不只可以觀察襯底表面，還可以觀察包括Z軸方向的晶圓所有部位。

  3. 可取得與X-Ray Topography imaging comparison同等測試效果
    ?可以取得同等測試效果，實現高速低成本。

  4. 價格競爭力
    ?在晶片測量裝置中，屬于性價比好的一款系統。

可測量材料

  1. SiC單晶襯底、及SiC外延襯底

  2. GaN單晶襯底、及GaN外延襯底

  3. AlN單晶襯底、及AlN外延襯底

  4. 可視光可透視、有雙折射效果的結晶均可。

測試效果不佳材料

?無可視光透視性材料：Si、GaAs等
?無雙折射效果材料：藍寶石、Ga2O3 等



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