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lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C 便攜式超聲波流量計

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更新日期：2024-03-24

簡要描述：

lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C
用于半導體工藝的高性能質量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合規的，可以通過EtherCAT通信進行控制，EtherCAT通信用于半導體制造設備的高速傳輸系統。

lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C 便攜式超聲波流量計
品牌其他品牌類型超聲波
測量范圍1m3/h

lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C

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用于 EtherCAT 通信的高性能質量流量控制器。

用于半導體工藝的高性能質量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合規的，可以通過EtherCAT通信進行控制，EtherCAT通信用于半導體制造設備的高速傳輸系統。

半導體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC的原始環境溫度補償流量傳感器作為標準安裝，并且可以作為液化氣支架等選項添加。


特點

  • 準確度±1%SP

  • 金屬密封件

  • 清潔（保證顆粒）

  • 環境溫度保證傳感器

  • EtherCAT通信

選擇

  • 微流 F.S.

  • 兼容液化氣

  • 寬

使用示例

EtherCAT通信設備的通信統一

越來越多的半導體制造設備配備了EtherCAT通信（數字I / F），用于高速控制機械臂等運輸系統。 EtherCAT通信有65，536個節點，MFC的所有測量系統和運動系統元件都可以與EtherCAT通信統一。

lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C

規格


溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍低標準最高 F.S.sdaM
15~35°C50kPa300kPa±1%自保2~100%F.S.10SCCM300SLM金





* 規格表為具有一般規格的質量流量控制器。 可以通過選項進行更改。



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