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lintec高溫質量流量控制器MC-3000L-TC 便攜式超聲波流量計

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更新日期：2024-03-24

簡要描述：

lintec高溫質量流量控制器MC-3000L-TC
高溫質量流量控制器，適用于最大流量控制為120°C、斷電最高為150°C的環境中。

lintec高溫質量流量控制器MC-3000L-TC 便攜式超聲波流量計
品牌其他品牌類型超聲波
測量范圍1m3/h

lintec高溫質量流量控制器MC-3000L-TC

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高溫質量流量控制器，適用于最大流量控制為120°C、斷電最高為150°C的環境中。

通過將高溫氣體接觸部分與熱敏基板部分分離，可以在高溫下控制氣體。

塊體采用SUS-316L，金作為密封材料，應對腐蝕性氣體。

作為選項，還可以選擇防止液化氣體再液化的低壓差規格和專用于加熱氣體接觸部分的MFC加熱器塊。

特點

  • 最高工作溫度最高120°C

  • 金屬密封件

  • 清潔（保證顆粒）

  • RS-485 通信

選擇

  • 兼容液化氣

  • 加熱塊

使用示例

液化氣、升華氣流量控制

CVD 和 ALD 的源氣體不一定是室溫和壓力下的氣體。 液體或固體原料通常在室溫和壓力下使用。 液體和固體在室溫下產生的氣體較少，因此很難使用MFC控制流量，MFC使用壓差來流動氣體。 因此，MFC的工作壓力是通過加熱原料罐并增加蒸汽壓力以產生壓差來確保的。 MC-3000L-TC 能夠進行高溫控制和低壓差工作壓力，是液化和升華氣體流量控制的理想選擇。

lintec高溫質量流量控制器MC-3000L-TC

規格


溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍低標準最高 F.S.密封
低80~100°C50kPa
300kPa±1%F.S.2~100%F.S.10SCCM25SLM金
高100~120°C
50kPa
300kPa±1%F.S.2~100%F.S.10SCCM25SLM金








* 規格表為具有一般規格的質量流量控制器。 可以通過選項進行更改。



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