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yutaka中小流量型壓力控制設備L18H系列 數顯壓力表

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更新日期:2024-03-23

簡要描述:

yutaka中小流量型壓力控制設備L18H系列
L18H 系列是一款符合 1.5 英寸 SEMI 標準的塊式壓力調節器,專為設備制造商的集成供氣系統而設計。 此外,作為L18產品的繼承者,流動特性性能得到了極大的提高。

yutaka中小流量型壓力控制設備L18H系列 數顯壓力表
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yutaka中小流量型壓力控制設備L18H系列

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L18H系列(中小流量型)


  • 功能

  • 低壓1MPa以下
    焊接規范金屬墊片
    配件集成規格

  • 調節閥結構

  • 針型

  • 兼容氣體

  • 7類特殊高壓氣體腐蝕性氣體,有毒氣體

    除外

  • 標準流量

  • ~60噸/分鐘

yutaka中小流量型壓力控制設備L18H系列

  • 特點

    規范

    適用氣體高純度氣體
    入口壓力0.99MPa以下
    調節壓力最大0.7MPa(量程規格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.7MPa
    耐壓壓力1.5MPa (入口側)
    簡歷值0.1
    工作溫度-10~+40°C
    外部泄漏1×10-11Pa?m3/s?He (真空方式)
    質量約0.36公斤
    安裝方式使用背螺釘安裝
    • L18H 系列是一款符合 1.5 英寸 SEMI 標準的塊式壓力調節器,專為設備制造商的集成供氣系統而設計。 此外,作為L18產品的繼承者,流動特性性能得到了極大的提高。

    • 主體的焊接接頭規格也是節省閥箱空間的理想選擇。

    • 流量約為之前產品L18系列的兩倍(相同的平面間尺寸)

    • 隔膜外部密封使用金屬密封。



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