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更新日期:2024-03-23
簡要描述:
yutaka中小流量型壓力控制設備L18H系列L18H 系列是一款符合 1.5 英寸 SEMI 標準的塊式壓力調節器,專為設備制造商的集成供氣系統而設計。 此外,作為L18產品的繼承者,流動特性性能得到了極大的提高。
品牌 | 其他品牌 |
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yutaka中小流量型壓力控制設備L18H系列
功能
低壓1MPa以下
焊接規范金屬墊片
配件集成規格
調節閥結構
針型
兼容氣體
7類特殊高壓氣體腐蝕性氣體,有毒氣體
除外
標準流量
~60噸/分鐘
yutaka中小流量型壓力控制設備L18H系列
特點
適用氣體 | 高純度氣體 |
入口壓力 | 0.99MPa以下 |
調節壓力 | 最大0.7MPa(量程規格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.7MPa ) |
耐壓壓力 | 1.5MPa (入口側) |
簡歷值 | 0.1 |
工作溫度 | -10~+40°C |
外部泄漏 | 1×10-11Pa?m3/s?He (真空方式) |
質量 | 約0.36公斤 |
安裝方式 | 使用背螺釘安裝 |
L18H 系列是一款符合 1.5 英寸 SEMI 標準的塊式壓力調節器,專為設備制造商的集成供氣系統而設計。 此外,作為L18產品的繼承者,流動特性性能得到了極大的提高。
主體的焊接接頭規格也是節省閥箱空間的理想選擇。
流量約為之前產品L18系列的兩倍(相同的平面間尺寸)
隔膜外部密封使用金屬密封。