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更新日期:2024-03-21
簡要描述:
fcon觸摸屏式氣體混合器CUBE GM-Xα系列● 觸摸屏式氣體混合器(緩沖罐規格)[CUBEGM-Xα系列]是包含質量流量控制器、控制電源、閥門、單向閥、氣體混合器、緩沖罐的單元型。● 程序運行:可以通過設置每條線路的流量和時間來進行程序運行。● 報警功能:通過設置每條線路流量的上下限,當出現流量異常時,發出報警聲。
fcon觸摸屏式氣體混合器CUBE GM-Xα系列
fcon觸摸屏式氣體混合器CUBE GM-Xα系列
產品名稱 | CUBE GM-Xα系列 |
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尺寸 | CUBEGM-Xα2:W350×D400×H1100(mm)*對于油箱容量10L CUBEGM-Xα3:W430×D400×H1100(mm)*對于油箱容量10L CUBEGM-Xα4:W510×D400×H1100(mm)時容量為10L 注1)高度由罐容量決定。 注 2) 尺寸不包括突出部分。 |
輸入電源 | AC100V |
目前的消費 | 約 125VA * 安裝 3 個質量流量控制器時 |
流量范圍 | 1 行:FS10SCCM ~ 20SLM * 但是,混合氣體流量必須為 50SLM 或更少。 |
流量控制 | MFC:C1000系列或FCST1000系列 |
流量設定/輸出顯示 | 0-5VDC |
入口、出口閥 | 電磁閥 |
外漏 | ≦ 5 × 10 -7 Pa ? m 3 / sec He |
耐壓 | 0.5MPa |
氣體接觸材料質量 | SUS316、PTFE、氟橡膠或氯丁橡膠 (FCST1000系列:磁性不銹鋼、氟橡膠或氯丁橡膠) |
管道連接 | 如需 1 / 4in.SWL(等效)和其他配件,請聯系我們。 |
使用環境 | 溫度:5 至 50°C 精度保證范圍:15 至 35°C 濕度 30 至 80%(無冷凝) |
配件 | AC 電纜 (2m)、使用說明書 |