3B真空計(彎曲帶束)全面提高了熱陰極電離真空計的三個測量極限:“軟X射線”、“電子沖擊解吸(ESD)”和“氣體釋放”??梢詼y量高達-11Pa的壓力。
高精度離子計頭,X射線極限約為5×10?12Pa(不到傳統EX計的1/40),可實現XHV的高精度測量
有效靈敏度為 2.4??A/Pa(4mA 時) ,比傳統產品
高2.5 倍。
氣體釋放量低于傳統產品(SUS)的1/10
采用真空結構材料0.2% BeCu
使用市售控制器可測量高達 10?11Pa
離子束從帶狀圓筒柵格的側面取出,并在240°彎曲位置捕獲。全面提高熱陰極離子計“軟X射線”、“電子刺激(ESD)”和“氣體釋放”三大測量極限的新型測量方式,可測量高達10?12Pa I的壓力。我是個孩子。
帶有鉑銥合金柵和氧化釔涂層銥絲的離子源電極嵌入超低釋氣真空結構材料 0.2% BeCu 合金共面法蘭 (ICF070) 中,以實現低釋氣。
XHV(高真空)研究
XHV/UHV真空設備
XHV/UHV分析設備...等
電子能源 | 100~150eV |
絲勢 | 10~100V |
測量時燈絲加熱功率 | 1.5A×2.8V |
電子束除氣功率 | 480V×10~30mA |
電子電流 | 1~4mA(比例范圍),也可10mA |
偏轉電極電位 | 155V(電子比例范圍)、145V(10mA) |
靈敏度 | 5 ~ 7E-2Pa-1 (e比例范圍) |
X射線極限 | 5 ~ 7E-2Pa-1 (e比例范圍) |
烘烤溫度 | 最高300℃ |
法蘭材質 | 鍍NiP 0.2%BeCu合金 |
目前介紹終端 | SUS304+Koval真空端子 |
安裝法蘭 | ICF070(無氧銅墊片) |