ballwave球SAW傳感器的特點分析
Ball Wave 的基礎技術“Ball SAW 傳感器”是一種緊湊、高速、高靈敏度的創新化學傳感技術。
直徑1毫米
將超聲波的一種——表面聲波(SAW)以帶狀限制在球體表面,從而實現緊湊的尺寸。
敏感膜
由于軌道聲表面波多次穿過敏感膜,因此即使敏感膜很薄也可以測量氣體響應。由于敏感膜很薄,因此在膜中的擴散時間短且快。
長距離傳播
由于敏感膜上的氣體吸附而導致的 SAW 物理性質的變化在一個循環中非常小,但通過重復循環,這種變化可以放大,從而產生高靈敏度。
通過根據測量目標在微小的水晶球表面形成不同的敏感膜,可以測量多種氣體,例如微量水分、氫氣、天然氣和有機混合氣體。
除了水晶球的耐高溫和高壓性能外,它還具有比傳統技術高約100倍的靈敏度和更快的響應速度,擴展了全新傳感器系統的可能性。
SAW;表面聲波
發現了這樣一種物理現象:當在寬度等于球體直徑和波長的幾何平均值的球體表面激發表面波時,表面波像
自然平行光束一樣繞多圈,而沒有任何衍射現象。
多圈的聲表面波會隨著圈數放大聲速和衰減率的變化,從而可以更精確地測量這些變化。
通過在該多圈傳播路徑上安裝敏感薄膜,可以獲得小型、高速、高靈敏度的球型SAW傳感器。
測量氣體 | 水蒸氣 | 有機混合氣體 | 氫 | 病毒 |
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敏感膜 | 無定形二氧化硅 | 二甲基硅氧烷 (色譜柱材料) | 鈀合金 (Pd Ni、Pd Pt) | 抗體 適體 |
方法 | 單傳感器 | 氣相色譜法 | 單傳感器 | 單傳感器 |
產品 | 微量水分測定儀 | 便攜式氣相色譜儀 | 氫傳感器 | 抗原抗體傳感器 |
方法比較 | 靈敏度范圍 |
---|---|
場效應管 | 10ppm-1%(低濃度) |
電阻 | 1%-100%(高濃度) |
表面聲波 | 0.1%-100%(高濃度) |
球鋸 | 0.001%-100%(全量程) 快速響應 |
電極孔徑 α=√λD
λ: SAW 波長
D: 球體直徑
高靈敏度
反應快
非破壞性的