強光檢查燈185le在半導體行業的運用
在集成電路制造中,對晶粒表面的缺陷進行檢測至關重要,如裂紋、碎片和燒痕等,這些缺陷可能影響晶粒的質量和性能。這些缺陷的性質多變,位置各異,基于規則的機器視覺難以準確檢測。同時,還需要避免標記對芯片質量不造成影響的微小畸變,以提高效率??紤]到芯片尺寸各異且數量眾多,傳統的人工檢測方法低效且不切實際,還可能引入無塵室的污染。
185le強光檢查燈可以識別晶粒表面上各種不可接受的外觀缺陷,這些缺陷對于基于規則的視覺檢測系統而言過于復雜或耗時。該工具檢查晶粒的表面,以檢測是否有裂紋、碎片或燒痕。
主要型號:高照度表面檢查燈185LE/185FI/185LE-AL/370TFI/R/100LE
高照度照明設備(表面檢查燈) 185LE-AL是目視檢查晶圓、鏡頭、玻璃基板的表面等為目的的光源。
適合于TFT面板、CF(彩色濾光片),觸摸屏制造等行業。
規格參數:
大照度 | 照射距離 310mm、 照射直徑徑 55mmφ 時照度在 400,000 Lux以上) | |
光源 | 直流點燈 17V/185W 鹵素燈 | |
照度調整 | 連續可調至大照度的 20% | |
冷卻方式 | 強制空冷 | |
使用溫度范囲 | 0 ~ 40℃ | |
電源電圧 | AC 95V ~ AC 260V, 50/60Hz | |
功率 | 250W | |
尺寸 | 光源 | 136mm H × 112mm W × 150mm D |
電源 | 229mm H × 90mm W × 250mm D | |
重量 | 光源 | 1.2kg |
電源 | 3.6kg | |