如何檢測無塵室內5μm以上的粉塵？

發布日期：2023-08-01      瀏覽次數：1362

如何檢測無塵室內5μm以上的粉塵？

潔凈室和潔凈室的評估通常使用粒子計數器。 這是因為目標微小粒子是不可見的。 然而，典型粒子計數器的最大粒徑為5μm。 實際上，5μm~100μm的范圍肉眼是不可見的，但實際上，顆粒計數器并不清楚這個范圍內是否有灰塵。

◆5μm以上的垃圾堆積
在潔凈室中看不見的灰塵中，真正麻煩的是尺寸小于1μm的微觀顆粒。 這是因為它不會永遠落在地上，而是漂浮，并被這里和那里的人的運動所吸引。 然而，潔凈室技術的進步使得控制這種微量廢物相對容易。 HEPA過濾器是其中的核心。 去除超過 99.97% 大于 0.3 μm 的顆粒。 潔凈室通過該HEPA過濾器以及氣流，正壓，通風等的作用去除微小的碎屑。
然而，5~100μm的垃圾幾乎肉眼看不見，而是在氣流上漂流，而是下落并堆積。 如果你把它放在無人看管的地方，潔凈室的內部會在你不知不覺中充滿垃圾。 然后，在某些時候，它會粘附在工件上并導致缺陷。
◆對5μm以上的垃圾有效清洗
事實上，我們早就知道這一點。 例如，在半導體工廠中，地板通常具有光柵結構，這樣垃圾就不會積聚在地板上，而垃圾會掉落在地板下。 此外，潔凈室的四個原則是“不堆積"和“清除"。 清潔是處理這種大小的垃圾的有效方法。 但問題是垃圾是看不見的！

◆5μm以上的垃圾從何而來？
讓我們在項目符號中列出主要的。 1. 臟空氣從外部進入， 2. 工人產生粉塵， 3. 潔凈室工具和設備（固定和操作）產生的粉塵， 4. 帶入并產生附著在原材料、包裝材料等上的垃圾， 5. 無塵室中堆積的垃圾的重新漂浮 我認為根據工藝和工件的特性，還有其他各種原因。 最重要的是，只有項目1可以在潔凈室中直接解決。
◆對于10，000級用戶，更重要的是采取5μm或更大的垃圾防護措施
10，000級潔凈室用于許多行業和工藝，但我認為有很多情況的共同特征是以后無法去除灰塵，例如“粘貼"，“繪畫"，“印刷"，“氣相沉積"和“粘合"。 并且在許多情況下，與這種良好產品率相關的垃圾大小為5~100μm。
不要忽視5~100μm的灰塵！
讓我們總結一下上面的故事。 以萬級環境為目標的粉塵~顆粒，根據其大小可分為三種類型。 1.有三種類型的可見垃圾，可見尺寸~2.100μm至5μm，不可見尺寸約3.5μm至0.3μm，無法用粒子計數器測量。 在一般環境中，看不到可見的垃圾 2.3. 在潔凈室中，除可見垃圾外，3.可通過潔凈室功能清除微小垃圾。 但是，不容忽視的是5~100μm的灰塵。 如果不通過清潔去除，則潔凈室本身無法將其清除。
			左圖顯示了一般環境和潔凈室中的除塵便利性。 在潔凈室中，可以輕松減少可通過氣流去除的5μm或更小的灰塵（顆粒）。


























































































































































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